中航長(zhǎng)風(fēng)陪您聊聊線切割機(jī)的“內(nèi)圓切割技術(shù)” 線切割機(jī)按走絲速度可分為高速往復(fù)走絲電火花線切割機(jī)（俗稱“快走絲”）、低速單向走絲電火花線切割機(jī)（俗稱“慢走絲”）和立式自旋轉(zhuǎn)電火花線切割機(jī)三類。又可按工作臺(tái)形式分成單立柱十字工作臺(tái)型和雙立柱型（俗稱龍門型）。
線切割機(jī)的電火花線切割同內(nèi)圓切割技術(shù)相比有其明顯的弱點(diǎn)：
一是片厚平均誤差較大；
二是切割過(guò)程中智能檢測(cè)控制不易實(shí)現(xiàn)；
三是切割過(guò)程的成功率要求較高、風(fēng)險(xiǎn)大，一但斷絲而不可挽救時(shí)，直接浪費(fèi)一根單晶棒；
四是不能實(shí)現(xiàn)單片質(zhì)量控制，一次切割完成后，才能檢測(cè)一批圓片的切割質(zhì)量，并且圓片之間切割質(zhì)量也不相同。
對(duì)于以上不足，內(nèi)圓切割技術(shù)的一些改進(jìn)具體表現(xiàn)在：
1.自動(dòng)、單片方式切換操作方便性。
2.小批量多規(guī)格加工時(shí)靈活的加工可調(diào)性。
3.切片精度高，切片成本低，同規(guī)格級(jí)的內(nèi)圓切片機(jī)價(jià)格為線切割機(jī)價(jià)格1/3-1/4，線切割機(jī)還需配置粘料機(jī)，每片都可調(diào)整。
4.低成本的輔料(線切割機(jī)磨料及磨料液要定時(shí)更換)。
5.不同片厚所需較小的調(diào)整時(shí)間，不同棒徑所需較小的調(diào)整時(shí)間。
6.修刀、裝刀方便。隨著硅晶片大片徑化發(fā)展，線切割技術(shù)是硅片切割的主流技術(shù)，在規(guī)模化晶圓片切割中將取代內(nèi)圓切割技術(shù)。因此人們加大了對(duì)200mm以上線切割機(jī)的研究，以解決其技術(shù)不足。
